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物料名称	描述	备注
蓝宝石提升销	LIFT PIN,SAPPHIRE,hd300mm
蓝宝石轴杆	PIN, SAPPHIRE .183 ODX.18LG
陶瓷针顶座	LIFT PIN,DPS,MESA(D2.3*82.4MM)
蓝宝石视窗	06-00-12-002-A SAPPHIRE WINDOW OD25*2
金属螺丝	C1 Screw,1.02LG,Top Spindle
陶瓷盖	CAP, CAPTIVE, FIXED, PRODUCER，SE/GT
D孔垫片（陶瓷）	D-WASHER 025
陶瓷支撑	HOLDER,WAFER,MORE RING,C3 ALTUS
陶瓷垫片	SPRING, PEDESTAL, CERAMIC,C3 ALTUS
顶针定位件	Holder, Lift Pin, 300mm Ultima X
间隙规盖子	PLUG,GAP GAGE
Flex45腔垫圈D-Washer	D-WASHER 025
右finger固定块	右finger固定卡块
导电接头	PROBE POT IRISCELL,SABRE
UE螺丝平垫片/六角	Washer, Hex, Ring, Clamp, 300MM
特氟龙管道	MANF, TEFLON FEED THRU, LID, CH PRDC
密封件（塑料件）	FECE SEAL GAS INJCT REVB
陶瓷喷嘴	Top baffle PSG
密封垫片	Gasket/Retainer,1/4 VCR, Nickel
左传感器支架	sensor bracket, left
升降销 4000L 固定浮动 300MM	Tin Lift pin
陶瓷顶针	LIFT PIN CERAMIC NOTCHED 3
陶瓷U形卡子	CLIP,CERAMIC RETAINER,HOLDER,MORE,
陶瓷方块	INSERT,NUT,CERAMIC,1/4- 28
ESC盖帽Φ12.6L9.4	ESC CAP
外电极八角螺丝	ASSY, STUD, SOCKET.300MM
密封件（lip seal白色)	Lip Seal,1mm
RPS 出口清洁管道	#REF!
陶瓷隔绝环/陶瓷隔离器	RF Isolator/RF Isolator TEOS
陶瓷板	#REF!
陶瓷顶针座	LIFT HOPP, PIN LIFT, 10.5″INCH
蓝宝石棒	lift pin,sym3(S)
C环	CLIP, RETAINING, SYMMETRY DOOR MOUNT
垫片	SHIM,CIRLEX SHIM SET TALON